微焦點(diǎn)CT機(jī)是一種基于微焦點(diǎn)X射線源的高分辨率無損檢測(cè)設(shè)備,通過錐形束掃描和三維重建算法,實(shí)現(xiàn)樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)成像。其核心優(yōu)勢(shì)在于微米級(jí)分辨率(最高達(dá)0.5μm)和非破壞性檢測(cè),能夠清晰呈現(xiàn)骨骼、牙齒、材料及工業(yè)器件的內(nèi)部三維結(jié)構(gòu),彌補(bǔ)了傳統(tǒng)掃描電鏡僅能表征表面二維結(jié)構(gòu)的不足。
微焦點(diǎn)CT采用極小的X射線焦點(diǎn)(通常3-50μm),結(jié)合錐形束掃描技術(shù),通過旋轉(zhuǎn)樣品或射線源從多角度采集數(shù)據(jù),經(jīng)計(jì)算機(jī)重建出三維模型。
微焦點(diǎn)CT機(jī)的主要特點(diǎn):
一、超高空間分辨率
核心優(yōu)勢(shì):X射線源的焦點(diǎn)尺寸可小至1μm以下(高d機(jī)型可達(dá)0.2μm或更小)。
成像分辨率:可實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)(<1μm)到數(shù)微米的體素(voxel)分辨率,能清晰分辨微小缺陷、微細(xì)結(jié)構(gòu)和材料內(nèi)部的微米級(jí)特征。
無損放大:利用幾何放大原理(樣品靠近射線源),在不破壞樣品的情況下實(shí)現(xiàn)高倍率成像。
二、非破壞性三維成像
無損檢測(cè):無需切割或破壞樣品,即可獲取其內(nèi)部三維結(jié)構(gòu)信息,包括孔隙、裂紋、夾雜物、分層、裝配關(guān)系等。
三維可視化:重建后的數(shù)據(jù)可進(jìn)行任意切片、剖面、透明化、分割、測(cè)量等操作,提供全面的內(nèi)部視圖。
三、高對(duì)比度與細(xì)節(jié)呈現(xiàn)
優(yōu)異的對(duì)比度分辨率:能夠區(qū)分密度差異極小的材料(如塑料中的氣泡、復(fù)合材料中的纖維分布)。
細(xì)節(jié)豐富:能清晰呈現(xiàn)復(fù)雜幾何形狀、微小孔洞、精細(xì)紋理等,圖像質(zhì)量遠(yuǎn)超傳統(tǒng)二維X光。
四、定量分析能力
精確測(cè)量:可對(duì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行尺寸、距離、角度、體積、壁厚等精確測(cè)量。
孔隙率與缺陷分析:自動(dòng)識(shí)別并統(tǒng)計(jì)孔隙、裂紋的數(shù)量、大小、分布和連通性。
壁厚分析:生成壁厚分布云圖,快速識(shí)別薄弱區(qū)域。
逆向工程:將CT數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為STL等格式,用于CAD建模和3D打印。
五、適用樣品范圍廣
尺寸靈活:可檢測(cè)從毫米級(jí)到數(shù)十厘米的樣品(取決于設(shè)備型號(hào))。
材質(zhì)多樣:適用于金屬、塑料、陶瓷、復(fù)合材料、巖石、生物組織等多種材料。
形態(tài)多樣:可檢測(cè)規(guī)則或不規(guī)則、復(fù)雜裝配體(如電子元器件、發(fā)動(dòng)機(jī)零件)。
六、軟件功能強(qiáng)大
專業(yè)重建軟件:采用Feldkamp、FBP、迭代重建等算法,快速生成高質(zhì)量三維圖像。
高級(jí)分析軟件:
提供體積渲染、切片瀏覽、虛擬剖切、缺陷識(shí)別、壁厚分析、孔隙分析、纖維取向分析等功能。
支持FEA/CFD網(wǎng)格生成,將真實(shí)結(jié)構(gòu)導(dǎo)入仿真軟件。
自動(dòng)化與智能化:支持自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)定位、批量掃描、AI輔助缺陷檢測(cè)。
七、靈活性與可擴(kuò)展性
多尺度成像:同一臺(tái)設(shè)備可通過調(diào)整放大倍數(shù),實(shí)現(xiàn)從宏觀到微觀的多尺度觀察。
原位與動(dòng)態(tài)CT(部分高d機(jī)型):
可在加熱、冷卻、拉伸、壓縮等原位條件下進(jìn)行連續(xù)掃描,觀察材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)演化過程(如裂紋擴(kuò)展、相變)。
開放性設(shè)計(jì):便于集成專用樣品臺(tái)、加載裝置、環(huán)境艙等。